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雙焦干涉球面輪廓儀項(xiàng)目簡(jiǎn)介
2014-9-4 來源：正航儀器 作者：正航網(wǎng)絡(luò) 閱讀：次
雙焦干涉球面微觀輪廓儀是利用雙焦偏振共光路干涉及電子共模抑制技術(shù)設(shè)計(jì)的新型表面輪廓儀。
本儀器具有分辨率高，抗干擾能力強(qiáng)，無需專門參考面，能自動(dòng)掃描采樣并顯示表面二維輪廓及數(shù)據(jù)等優(yōu)點(diǎn)，是目前國(guó)內(nèi)外首次研制成功的能用于各種球面輪廓非接觸檢測(cè)的精密儀器。
經(jīng)實(shí)測(cè)，本儀器的縱向分辨率可達(dá) 0.1mm數(shù)量級(jí)，橫向分辨率小于2mm，曲率半徑范圍為 ±R5～±30，達(dá)到了目前國(guó)際先進(jìn)水平，能滿足大部分顯微物鏡及其它球面的表面輪廓測(cè)量。可廣泛應(yīng)用于光學(xué)行業(yè)，精密機(jī)械行業(yè)及相關(guān)科研部門的球面輪廓的精密檢測(cè)。http://www.xintiancheng.cn
